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目前潔凈室對送人空氣的凈化方法,最重要和使用最廣泛的方式是空氣過濾法。 送人潔凈室的清潔空氣,主要是靠在送風(fēng)系統(tǒng)的各部位設(shè)置不同性能的空氣過濾器,用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。近年來,根據(jù)一些工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)的微細(xì)化、精密化和高純要求,還需去除空氣中濃度極微的化學(xué)污染物或分子污染物,如超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)、生物制品的生產(chǎn)等。為此,在潔凈室的送風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)增設(shè)各種類型的化學(xué)過濾器、吸附過濾器、吸收裝置等。
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